品牌：	ALICAT	加工定制：	是
传感器：	差压式	口径：	DN5-10
类型：	质量流量计	机构原理：	质量流量计
测量介质：	气体	测量精度：	±0.2-0.5%
测量原理：	差压原理	测量范围：	0-500SLPM
公称通径：	6	工作压力：	1MPa
工作温度：	0-50度	型号：	MS
规格：	MS	商标：	ALICAT
包装：	纸箱

一、ALICAT耐腐蚀气体质量流量计产品优势操作简单Alicat质量流量计&质量流量控制器操作极其简单，用户可通过多功能数字显示屏调节参数，无需连接电脑或其它任何复杂的编程软件。精确控制Alicat标准型质量流量计&质量流量控制器的精度为±(0.8%Rdg+0.2%F.S.)，几乎所有型号通过增加高精选配项可达±(0.4%Rdg+0.2%F.S.)。高性价比Alicat质量流量计&质量流量控制器本身耗电极小，从而降低了系统运营的成本，且相比于同类产品，其压损较低，降低压损意味着更多气体进入到系统中，而不是停留在测量&控制设备中。除质量流量外，Alicat质量流量计&质量流量控制器还可同时测量体积流量、压力和温度，您无需另外采购和安装其它设备。使用累加器(TOT)功能可显示流经气体总量，是监控整个应用过程及减少气体浪费的最有效的方法。MCS系列的模块化设计使其成为真空应用的最佳选择。性能卓越MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量，除了RS-232数字信号输出，还配有多种模拟信号输出。MS系列质量流量计亦有便携式型号(MBS系列)，采用一块普通9伏电池供电，即成为一款适用于腐蚀性气体的二等标准流量校准设备。反应灵敏与相应标准型M/MC系列相同，MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器(防腐蚀型)其测量响应小于10毫秒、控制响应为100毫秒。高重复性Alicat的专利技术使得质量流量计&质量流量控制器几乎没有可移动部件，所有零件都被内置固定，腔体内不存在物理变化，从而具有较高的一致性和重复性。所有Alicat质量流量计&质量流量控制器的重复性可达±0.2%F.S。值得信赖全球现有超过90000台Alicat设备正被使用在不同领域中，质量流量控制器主要应用于医药、半导体、燃料电池、如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量&控制等。所有Alicat设备均具有NIST可溯源校准证书。二、ALICAT耐腐蚀气体质量流量计标准性能多功能数字显示屏显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力低压损无需预热316L不锈钢本体&传感器FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可选可调节PID算法(仅用于质量流量控制器)内置130种常用气体可选，开放COMPOSER?—气体编辑器，允许用户自定义混合气体组分200:1量程可调比三、ALICAT耐腐蚀气体质量流量计性能参数指标ALICAT耐腐蚀气体质量流量计量程0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM精度±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）重复性±0.2%量程比200:1响应时间10ms标准状态(STP)25℃&14.696PSIA（101.325kPa）温度范围-10～50零点漂移0.02％量程漂移0.02％湿度范围0-100%测量流量范围128％（过流率）最大耐压145psi输出信号（数字）质量流量、体积流量、绝对压力和温度数字信号可选RS485，Modbus，Profibus输出信号（模拟）质量流量、体积流量、绝对压力和温度模拟信号可选0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA电气连接8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定）供电电压7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）供电电流0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）