品牌：	Linetech	加工定制：	是
传感器：	管段式/法兰式	口径：	DN5-10
类型：	质量流量计	机构原理：	质量流量计
测量介质：	气体	测量精度：	±0.6-1%
测量原理：	热学原理	测量范围：	SLPM
公称通径：	6mm	工作压力：	9.5MPa
工作温度：	70度	型号：	M3030A
规格：	M3030A	商标：	Linetech
包装：	纸箱

一、linetech气体质量流量控制器产品特点测量质量流量无需温度和压力补偿结构紧凑精度高工作压力高响应时间快重复性高二、linetech气体质量流量控制器技术参数型号质量流量计质量流量控制器流量范围(N2)10SCCM~1000SLPM10SCCM~300slpm响应时间<2sec<2sec精准度≤±1%FS≤±1%FS重复精度±0.25%FS±0.25%FS输入/输出信号0~5VdcOR4~20mA0~5VdcOR4~20mA供电电源±15Vdcor24Vdc,350mA±15Vdcor24Vdc,350mA耐压<90bar0-30SLPM，<90bar;SLPM,<70bar,SLPM,<15bar工作环境温度0~50°C0~50°C漏率1*10E-9atmcc/sec1*10E-9atmcc/sec使用范围2~100%2~100%三、linetech气体质量流量控制器接口尺寸