品牌：	BROOKS	加工定制：	是
传感器：	管段式/法兰式	口径：	DN5-10
类型：	质量流量计	机构原理：	质量流量计
测量介质：	气体	测量精度：	±0.6-1%
测量原理：	热学原理	测量范围：	0-30SLPM
公称通径：	6mm	工作压力：	10MPa
工作温度：	50度	型号：	5850E
规格：	5850E	商标：	Brooks
包装：	纸箱

一、brooks气体质量流量控制器概览Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界一流的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显著的优势。我们的热式质量流量产品还通过了多种防护（IP）认证，适用于多种危险场所。二、brooks气体质量流量控制器产品特点较低的泄漏率结构紧凑内螺纹排气口抛光处理常闭阀对安装位置不敏感三、brooks气体质量流量控制器技术参数数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体流量范围:0.03-30slpm量程比：50:1最大工作压力:1500psi(10.432Mpa)气路接头:1/4"VCR或1/4"SWG电气接头:15PinsD-Type或Card-edge精度:±1%FS重复性：0.25%ofrate响应时间：1-3s差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）操作温度范围：5~65℃输出信号：0-5VDC或4-20mA电源：+/-15V?四、brooks气体质量流量控制器其他系列产品SLA5800S---数字型气体质量流量计/控制器SLA5800enhancedseries4800series5800Sseries5851EM